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Oblea de vidrio y vía pasante en vidrio

Oblea de vidrio · Sustratos TGVMateriales clave para el encapsulado de chips

Del procesamiento de precisión de obleas de vidrio a los sustratos TGV, conforme a SEMI y diseñados para módulos RF 5G/6G, encapsulado para IA (CoWoS/HBM) y sensores MEMS, con recubrimiento óptico integral incluido.

6"–12"Obleas de vidrio de precisión
<0.5μmPrecisión TTV (6")
30–150μmDiámetro de vía TGV
<6Constante dieléctrica
Oblea de vidrio de precisión / sustrato TGV
Tecnología clave

Cuatro servicios tecnológicos clave

Del procesamiento de sustratos de vidrio a los recubrimientos funcionales, con soluciones completas para la industria de semiconductores y optoelectrónica.

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Procesamiento de obleas de vidrio

Suministro de obleas de vidrio de precisión de 6", 8" y 12" con TTV < 0,5 μm (6") y rugosidad superficial Ra < 0,3 nm, totalmente conformes a las normas SEMI de fabricación de semiconductores.

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Sustratos de vidrio TGV

Tecnología de vía pasante en vidrio con diámetros de vía de 30–150 μm y constante dieléctrica < 6, para front-ends RF 5G/6G, encapsulado CoWoS / HBM para IA y sensores MEMS.

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Vidrio óptico especial

Una amplia gama de vidrios ópticos especiales: sustratos de soporte ultradelgados Carrier Glass, cuarzo sintético piezoeléctrico y filtros de corte IR Blue Glass.

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Servicios de recubrimiento óptico

Servicios integrales de recubrimiento funcional: antirreflectante (AR), películas conductoras transparentes ITO/FTO, sputtering de metales (Cr/Au/Al) y recubrimientos dieléctricos multicapa.
Descubra el recubrimiento óptico y la fotolitografía →

Vía pasante en vidrio

Sustratos de vidrio TGV
Interconexiones para el encapsulado de nueva generación

La vía pasante en vidrio (TGV) sustituye los sustratos de silicio tradicionales por vidrio de bajas pérdidas, con mejor aislamiento eléctrico, menores pérdidas dieléctricas y mayor densidad de integración. Ante el fuerte crecimiento de la demanda de ondas milimétricas 5G, encapsulado para computación de alto rendimiento con IA y sensores MEMS, el TGV se está convirtiendo en un material esencial del encapsulado avanzado.

Diámetro de vía
30 – 150 μm
Paso entre vías
50 – 500 μm
Grosor del sustrato
0,1 – 0,7 mm
Constante dieléctrica (1 GHz)
< 6
CTE
3 – 7 ppm/°C
Aplicaciones principales
5G/6G · Encapsulado para IA · MEMS
Sustrato de vidrio TGV
Especificaciones

Comparativa completa de especificaciones

Especificaciones técnicas completas del procesamiento de obleas de vidrio y de los sustratos TGV, con personalización disponible bajo petición.

EspecificaciónOblea de vidrio de 6"Oblea de vidrio de 8"Oblea de vidrio de 12"
Diámetro de la oblea150 mm200 mm300 mm
Precisión TTV< 0,5 μm< 0,8 μm< 0,8 μm
Grosor procesable0,1 – 2,0 mm
Rugosidad superficial (Ra)< 0,3 nm (superficie pulida)
Materiales disponiblesVidrio borosilicato sin álcalis / Vidrio de cuarzo / Vidrio óptico BK7 / Vidrio óptico especial
Normas aplicablesSEMI M1・M20・M78
EspecificaciónSustrato de vidrio TGVObservaciones
Diámetro de vía30 – 150 μmPersonalizable según la aplicación
Paso entre vías50 – 500 μmPaso menor posible con matrices de alta densidad
Grosor del sustrato0,1 – 0,7 mmUltradelgado, hasta 100 μm
Constante dieléctrica (1 GHz)< 6Bajas pérdidas, superior a los sustratos orgánicos
CTE3 – 7 ppm/°CPróximo al CTE del silicio, lo que reduce el alabeo
Control del alabeoDiseño de alabeo ultrabajoAdecuado para procesos de adelgazamiento back-end
Aplicaciones principalesMódulos RF 5G · Encapsulado HBM para IA · MEMS—
Soluciones

Dos modelos de colaboración

Elija el modelo de colaboración que mejor se adapte a su aplicación: del desarrollo de muestras a la producción a gran escala, le acompañamos en todo.

Fabricación por encargo

Procesamiento por encargo de obleas de vidrio de precisión

Procesamiento integral de obleas de vidrio de precisión de 6", 8" y 12", desde el corte, el rectificado y el pulido hasta los recubrimientos funcionales, cubriendo toda la cadena de procesos para aplicaciones de semiconductores y optoelectrónica.

  • Precisión ultraalta, TTV < 0,5 μm (6")
  • Rugosidad superficial Ra < 0,3 nm
  • Varios materiales: sin álcalis, cuarzo, BK7
  • Recubrimientos ópticos integrados (AR/ITO/sputtering de metales)
  • De pequeños lotes de muestras a la producción en serie
Aplicaciones

Dónde se utiliza

Del encapsulado avanzado de semiconductores a los instrumentos ópticos de precisión, para una amplia gama de necesidades de fabricación de alta tecnología.

Aplicación en 5G y encapsulado avanzado para IA

5G/6G · Encapsulado avanzado para IA

Los sustratos TGV se utilizan en módulos front-end RF de ondas milimétricas 5G (RFFE), en el encapsulado CoWoS de aceleradores de IA y en memoria de gran ancho de banda (HBM), respondiendo a la necesidad de interconexiones de alta densidad y transmisión de bajas pérdidas: un material clave para la infraestructura de computación con IA.

Aplicaciones en MEMS, óptica de precisión, medicina y aeroespacial

MEMS · Óptica de precisión · Medicina y aeroespacial

Las obleas de vidrio de precisión se utilizan ampliamente en sensores de presión MEMS, giroscopios, componentes ópticos de objetivos de cámara, instrumentos de diagnóstico médico y sistemas de detección aeroespaciales, manteniendo una alta fiabilidad incluso en condiciones extremas de temperatura, presión y vibración.

Vidrio especial

Procesamiento de vidrio óptico especial

Servicios de procesamiento a medida de Carrier Glass, materiales piezoeléctricos, Blue Glass y una amplia variedad de vidrios ópticos.

Material piezoeléctrico

Componentes piezoeléctricos

Material piezoeléctrico

Fabricados en cuarzo sintético y disponibles en cortes plano, planoconvexo y biconvexo, adecuados para aplicaciones de alta fiabilidad en aeroespacial, estaciones base de telecomunicaciones y satélites.

Material
Cuarzo sintético
Tamaño
φ4,5–φ14 mm / 1,8×3–30×30 mm
Frecuencia
5 MHz (O3) – 120 MHz (O5)
Tipo de corte
Plano / Planoconvexo / Biconvexo / Corte de doble rotación
Filtro de corte IR Blue Glass

Blue Glass (filtro de corte IR)

Filtro absorbente de IR / Blue Glass

Bloquea la luz infrarroja por encima de 700 nm para garantizar una reproducción de color precisa en los sensores CMOS; muy utilizado en módulos de cámara de smartphones, lentes de automoción y videovigilancia.

Material
SCHOTT BG / CDGM QB / NEG
Tamaño
77×77 mm (estándar)
Grosor
0,11 / 0,145 / 0,21 / 0,3 mm
Longitud de onda de corte
Bloqueo IR >700 nm
Otros vidrios ópticos

Otros vidrios ópticos

Otros vidrios ópticos

Servicios de corte, rectificado y pulido de precisión de vidrio óptico de varias marcas líderes, para aplicaciones que van de los objetivos de cámara a los instrumentos médicos.

SCHOTT B270 / D263T
Óptica de alta transmisión
JGS1 (Fused Silica)
Óptica UV
Serie OHARA
Cámaras, medicina
CORNING Eagle XG
Sustratos TFT-LCD
Tamaño
φ8–φ400 mm
Grosor
0,07–15,0 mm
Garantía de calidad

Equipos de inspección de calidad

Equipados con instrumentos profesionales de medición óptica para garantizar que cada sustrato de vidrio cumpla las normas de calidad más estrictas de la industria de semiconductores y óptica.

Equipo de medición de TTV

Medición de TTV (variación total del grosor)

Interferómetro Zygo

Parámetro medido
Variación total del grosor
Precisión
0,1 μm
Tamaño máximo
D300 mm
Equipo de medición de planitud

Medición de planitud (Warp / Bow)

Interferómetro

Parámetro medido
Warp / Bow
Precisión
0,1 μm
Tamaño máximo
D300 mm
Equipo de medición de rugosidad superficial

Medición de rugosidad superficial

Interferómetro de luz blanca Veeco

Parámetro medido
Rugosidad superficial Ra
Precisión
0,01 μm
Especificación
Ra ≤ 0,5 nm
Equipo de inspección de partículas

Inspección de partículas y polvo

Contador óptico de partículas

Parámetro medido
Tamaño de partículas en superficie
Precisión
0,1 μm
Aplicable a
Glass Wafer / Carrier Glass

¿Empezamos?

Envíenos sus especificaciones y le responderemos en un día laborable con una solución a medida.