Recubrimiento óptico y fotolitografía

Recubrimiento óptico y fotolitografíaDe la producción en serie a la precisión a medida

Desde recubrimientos funcionales estándar sobre sustratos de vidrio hasta filtros ópticos de precisión de UV a IR, patrones fotolitográficos a escala micrométrica y películas funcionales por sputtering sobre resina y piezas 3D, adaptamos el proceso de recubrimiento adecuado a sus especificaciones y volumen de producción.

250nm–15μmRango de longitudes de onda de UV a IR

1μmPrecisión del patrón

ISO Class 1Sala limpia de fotolitografía

Desde 1 piezaDel prototipo a la producción en serie

Contáctenos Ver soluciones de recubrimiento

Sistemas de recubrimiento óptico al vacío en una sala limpia

Soluciones de recubrimiento

Elija la solución de recubrimiento adecuada

Cada producto tiene requisitos distintos de especificación, volumen y coste. Ofrecemos tres soluciones de recubrimiento según su aplicación, para que cada proyecto se realice con el proceso adecuado.

Recubrimiento estándar

Recubrimiento funcional estándar

Producción en serie estable, centrada en el coste. Para recubrimientos sobre sustratos de vidrio con especificaciones definidas y necesidades de suministro en gran volumen.

Recubrimiento antirreflectante (AR)
Película conductora transparente ITO / FTO
Sputtering de metales (Cr / Au / Al)
Recubrimiento dieléctrico multicapa

Ver recubrimientos estándar

Recubrimiento óptico de precisión

Especificaciones ópticas exigentes, del prototipo a la producción. Para componentes ópticos y aplicaciones de detección con requisitos estrictos de longitud de onda, transmitancia y uniformidad.

Filtros pasabanda de UV a IR
Espejos láser y espejos dicroicos
Filtros de cuña y filtros multizona
Patrones fotolitográficos a escala micrométrica

Ver recubrimientos de precisión

Recubrimiento por sputtering

Películas funcionales por sputtering

Deposición a baja temperatura con gran adherencia. Para piezas de resina, metal y formas 3D que requieren a la vez funcionalidad y buen acabado.

Espejos de aluminio sobre resina
Películas de blindaje EMI
Películas decorativas y de color
Capas protectoras anticorrosión

Ver películas por sputtering

Recubrimiento estándar

Recubrimiento funcional estándar

Una gama de procesos de recubrimiento para distintas necesidades funcionales, que mejoran el rendimiento óptico y eléctrico de los sustratos de vidrio.

Óptico

Recubrimiento antirreflectante (AR)

Reduce la reflectancia superficial a < 0,5 % para aumentar notablemente la transmisión de luz. Se utiliza en objetivos de cámara, ventanas de sensores y vidrios de protección de pantallas.

Conductor

Recubrimiento conductor transparente ITO / FTO

Películas de óxido conductor transparente con resistencia laminar ajustable de 10–200 Ω/□. Se utilizan en paneles táctiles, células solares y vidrios calefactados antivaho.

Metal

Sputtering de metales (Cr / Au / Al)

Películas metálicas de gran adherencia para electrodos, máscaras o capas de disipación de calor. Muy utilizadas en microfabricación MEMS y procesos de obleas de semiconductores.

Multicapa

Recubrimiento dieléctrico multicapa

Capas alternas de alto y bajo índice para filtros pasabanda, reflectores de alta reflectancia y divisores de haz, con rangos de longitud de onda personalizables.

Recubrimiento óptico de precisión

Para aplicaciones de alta especificación en sensores, láseres, equipos de semiconductores e instrumentos médicos, realizamos el diseño, la deposición y la medición del recubrimiento en un único flujo, con prototipos desde una sola pieza.

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Prioridad a la deposición asistida por iones

La deposición asistida por iones (IAD) es el proceso principal, complementado con evaporación por haz de electrones y sputtering. Las películas son densas, muy adherentes y resistentes al desplazamiento espectral causado por la humedad.

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Cobertura de UV a IR

Abarca desde 250 nm en el UV hasta 15 μm en el IR. La simulación y la medición ópticas también están disponibles como servicios independientes.

⬡

Amplia variedad de sustratos

Vidrio, cuarzo, resina, metal y materiales cristalinos; piezas planas, lentes, prismas y formas irregulares, desde diámetros pequeños hasta sustratos de gran tamaño.

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Medición y ensayos de fiabilidad completos

Gestionado bajo un sistema de calidad ISO 9001, con seis espectrofotómetros, un espectrofotómetro IR, interferómetros láser y ensayos de humedad y choque térmico.

Productos destacados y especificaciones medidas

Filtro pasabanda línea i (365 nm)

Litografía de semiconductores

Flancos pronunciados y excelente uniformidad en el plano para equipos de exposición de semiconductores.

Transmitancia: Aprox. 90 %
FWHM: ≤ 7 nm
Variación de la longitud de onda central: ≤ 2 nm (en Φ100 mm)

Filtro pasabanda UV de 220 nm

UV profundo

Un método de deposición de baja absorción UV ofrece curvas medidas que coinciden con el diseño, con alta repetibilidad.

Transmitancia: Aprox. 90 % (en torno a 220 nm)
Fiabilidad: Sin desplazamiento espectral significativo tras 288 h a 60 °C / 90 % HR

Filtros pasabanda infrarrojos

Detección de gases

Dejan pasar solo la banda de absorción del gas objetivo. Se puede diseñar cualquier longitud de onda central en el rango IR, con propuestas desde una sola pieza.

Gases objetivo: CH₄, CO₂, CO, NO, SO₂, O₃, SF₆, etc.
Aplicaciones: Sensores y analizadores de gases NDIR

Espejos láser

Láser

Reflectores de alta reflectancia para una o varias longitudes de onda láser, que transmiten las longitudes de onda de observación seleccionadas.

KrF 248 nm: Sustrato de cuarzo, reflectancia ≥ 99,5 %
YAG y otros láseres: A medida para 355 / 532 / 633 / 1064 nm
Multiláser: Láseres azules, de diodo y de fibra

Filtros de cuña y multizona

Filtros especiales

Varían el grosor de la película o combinan varios recubrimientos en un mismo sustrato para simplificar el diseño del módulo óptico.

Filtro de cuña: La longitud de onda de corte varía de forma continua con la posición
Filtro multizona: Combina recubrimientos ND, AR, dicroicos y metálicos
Aplicaciones: Equipos de diagnóstico médico y de oficina

Recubrimiento AR antibacteriano

Medicina · Táctil

Combina propiedades antirreflectantes y antibacterianas sobre sustratos de vidrio o resina, con una capa superior antihuellas (AF) opcional.

Efecto antibacteriano: Inhibe el crecimiento de Staphylococcus aureus y E. coli
Aplicaciones: Piezas ópticas médicas, paneles táctiles

Filtros infrarrojos de paso largo (detección de temperatura y termografía)

Especificación	Banda de bloqueo (nm)	Tavg de bloqueo	Corte al 5 % (nm)	Corte al 50 % (nm)	Banda de paso (nm)	Tavg de paso
LWP 2.4 μm	400–2200	≤ 1 %	2320 ± 30	2400 ± 50	2500–3600	≥ 90 %
LWP 5.5 μm	400–5000	≤ 1 %	5500 ± 400	—	7500–13 500	≥ 75 %
LWP 6.6 μm	1500–6400	≤ 1 %	6600 ± 400	6950 ± 400	7500–14 000	≥ 80 %

* Es posible alcanzar una transmitancia en la banda de paso superior al 90 %. También ofrecemos recubrimientos AR de 8–14 μm y filtros de paso de banda ancha de 8–14 μm para cámaras IR, termografía, termómetros y sensores de automoción.

Productos de capa fina óptica de precisión

Categoría	Productos
Antirreflectantes	AR de banda ancha, de baja reflexión, de 3 longitudes de onda, UV-visible, para láser, antibacteriano e IR de 8–14 μm
Filtros	Pasabanda (multibanda, UV profundo, IR), corte IR, corte UV, corte UV-IR, ND, ND + corte IR, de rechazo de banda (notch), de fluorescencia/excitación y de cuña
Espejos	Espejos dicroicos, fríos, calientes, láser y metálicos (Ag, Al)
Divisores de haz	Divisores de haz polarizantes (PBS), divisores de haz cúbicos no polarizantes
Películas funcionales	Películas conductoras transparentes ITO, hidrófugas/hidrófilas, antisuciedad y de barrera de gases

Patrones fotolitográficos

Combinando el procesado de fotorresina con la deposición de capa fina, es posible situar con precisión distintos recubrimientos funcionales en un mismo sustrato para sensores, módulos de cámara, codificadores y componentes de comunicación óptica.

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Recubrimiento y patrón en un solo flujo

La deposición y el patrón se realizan en la misma línea mediante lift-off o grabado, lo que reduce los riesgos de manipulación y el plazo de entrega.

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Precisión micrométrica

La alineación por máscara sustituye a los soportes mecánicos y permite patrones dicroicos de línea/espacio de hasta 1 μm.

⬡

Bordes nítidos, menor separación

El desenfoque del borde del patrón es de unos 5 μm, frente a unos 100 μm con máscaras metálicas, de modo que regiones de filtro contiguas, como los filtros pasabanda RGB, pueden situarse una junto a otra.

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Integración multifunción

Combine varios recubrimientos en un mismo sustrato, como dicroico + opaco o espejo + absorbente + AR, para simplificar el diseño del módulo óptico.

Especificaciones del patrón

Proceso de patrón: Lift-off / Grabado
Precisión del patrón: Línea/espacio de hasta 1 μm
Exposición: Alineador de máscaras
Tamaño máximo del sustrato: Φ6 in
Grosor máximo del sustrato: 25 mm (admite prismas)
Patrón en dieléctrico multicapa: Grosor de película de hasta 7 μm
Entorno: Sala limpia ISO Class 1

* La precisión alcanzable depende del tipo de recubrimiento y del diseño del patrón. Envíenos sus planos para su evaluación.

DicroicoAROpacoMetalAbsorbenteEspejoND

Ilustración del proceso de fotolitografía

Recubrimiento por sputtering

Películas funcionales por sputtering

El sputtering de alta velocidad apenas provoca daño térmico y forma películas uniformes, densas y muy adherentes sobre resina, metal y piezas con formas 3D.

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Sin hard coat sobre resina

Con un tratamiento de polimerización de SiO₂, el aluminio se puede depositar sobre acrílico y otras resinas sin hard coat, sin desprendimiento tras decenas de ensayos con cinta.

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Uniforme en superficies curvas

El grosor de la película es prácticamente igual en la parte superior e inferior de lentes muy curvadas, lo que mantiene baja la variación de reflectancia.

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Protección anticorrosión

El aluminio con capa protectora de óxido de silicio no presenta cambios tras más de 10 minutos en solución de KOH al 1 %, con resultados estables en producción en serie.

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Colores de interferencia

La interferencia multicapa produce una amplia gama de colores, y se pueden estudiar colores a medida.

Especificaciones de sputtering

Tamaño máximo de pieza: An160 × L325 × Al110 mm
Sustratos de resina: PC, PET, PBT, ABS, PMMA, COP, COC
Otros sustratos: Vidrio, metal, obleas de silicio, lentes, piezas 3D
Reflectancia del espejo de Al sobre resina: Aprox. 89–90 % (400–700 nm)
Uniformidad entre lotes: Variación despreciable en 5 lotes

* El tamaño máximo de pieza se refiere al área útil para películas de Al + SiOx. Reflectancia medida sobre sustratos de PC.

Interior de un sistema de sputtering: sustratos recubiertos en un tambor giratorio y blancos de sputtering

Materiales disponibles

Películas metálicas

AlAgCrTiAuCuPtPdRhRuWGeHfTaMgMoSiSnZnZrNiFe

Películas de óxido

NbOxTiOxAl₂O₃HfO₂Ta₂O₅SiO₂ZrO₂

Películas de blindaje EMI

Rendimiento de blindaje: Ag > Cu > Al > Cr > Ti

Clasificación medida entre 50 MHz y 1 GHz. Los recubrimientos AR de óxido no proporcionan blindaje.

Al: Eficaz desde 50 nm, mejor a partir de 500 nm
Ag, Cu: Blindaje elevado desde 100 nm
Cr: Blindaje claro desde 500 nm
Ti: Eficaz a 1000 nm

Ejemplos de aplicación

Películas de blindaje para piezas de interior de automóvil Películas decorativas de Cr en degradado para iluminación Películas metálicas para fotomáscaras Películas de barrera de gases para piezas de electrodomésticos Películas decorativas para frascos de vidrio de cosmética Recubrimiento de aluminio para tubos de cosmética Películas de color para piezas de motocicleta Películas de color para material de pesca Películas decorativas para mandos de grifería Recubrimiento de aluminio para herramientas de resina

Aplicaciones y servicios

Aplicaciones y servicios adicionales

De la medicina y la medición a los equipos de semiconductores y láser, también nos encargamos de los procesos previos y posteriores al recubrimiento para reducir los traspasos entre proveedores.

Aplicaciones

Dispositivos médicos (endoscopios, oftalmología, diagnóstico) Instrumentos de medición y análisis Sensores de gases Equipos de exposición e inspección de semiconductores Equipos de procesamiento láser Módulos de cámara y sensores Proyectores Comunicación óptica Sensores de automoción Pantallas y paneles táctiles MEMS y procesamiento de obleas

Servicios

Servicios adicionales

Limpieza de precisión, corte de vidrio, pulido, ennegrecido de bordes, montaje y pegado, además de servicios de inspección y medición. Nos encargamos de todo, desde un único prototipo hasta la producción en serie, y disponemos en stock de filtros pasabanda habituales por unidades para pruebas de desarrollo.

Solicitud de presupuesto

Qué incluir en su consulta

El presupuesto de un recubrimiento depende del sustrato, el tipo de recubrimiento y las especificaciones. Si nos facilita los siguientes datos en su primera consulta, podremos evaluar la viabilidad más rápido y darle un presupuesto y un plazo de entrega precisos.

1

Aplicación

Para qué se utiliza la pieza: sensores, módulos de cámara, equipos láser, pantallas, instrumentos médicos, etc.

2

Sustrato

Material (vidrio, cuarzo, resina, oblea de silicio, metal, etc.), forma (plana, lente, prisma, pieza 3D), dimensiones y grosor.

3

Tipo de recubrimiento y especificaciones ópticas

Tipo de recubrimiento (AR, pasabanda, espejo, ITO, metal, etc.), rango de longitudes de onda, transmitancia o reflectancia objetivo y ángulo de incidencia. Adjunte las curvas espectrales si dispone de ellas.

4

Caras recubiertas y patrones

Recubrimiento por una o por ambas caras. Para patrones fotolitográficos o recubrimiento parcial, adjunte un plano con las dimensiones y tolerancias del patrón.

5

Requisitos de fiabilidad

Entorno de funcionamiento y condiciones de ensayo, como alta temperatura y humedad, choque térmico, adherencia o resistencia a la abrasión.

6

Cantidad

Cantidad de prototipos y volumen de producción estimado o consumo anual.

7

Fase del proyecto y calendario

Si el proyecto está en desarrollo, en prototipo o en producción, y la fecha de entrega deseada.

8

Suministro de sustratos e inspección

Si nos suministrará los sustratos o necesita que los aprovisionemos nosotros, y si necesita datos de inspección como mediciones espectrales.

¿Aún no tiene las especificaciones definidas? Cuéntenos su aplicación y sus requisitos básicos, y le ayudaremos a evaluar la solución de recubrimiento adecuada. Si necesita confidencialidad, indíquelo en su consulta.

¿Empezamos?

Envíenos sus especificaciones o planos. Le responderemos en un día laborable para ayudarle a evaluar el proceso de recubrimiento adecuado y enviarle un presupuesto.

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