Optical Coating & Photolithography

光學鍍膜・黃光圖形化從標準量產到精密客製

從玻璃基板的標準功能鍍膜，到紫外至紅外的精密光學濾光片、微米級黃光圖形化，以及樹脂與立體件的濺鍍功能膜，依您的規格與量產需求提供合適的鍍膜方案。

250nm–15μm全波段鍍膜

1μm黃光圖形精度

ISO Class 1超潔淨黃光室

單片起打樣到量產

聯絡我們查看鍍膜方案

Coating Solutions

依需求選擇鍍膜方案

不同產品對規格、數量與成本的要求不同。我們依應用需求提供三種鍍膜方案，讓每個專案都用對的製程完成。

Standard Coating

標準功能鍍膜

穩定量產、成本導向。適合規格明確、需要大量穩定供貨的玻璃基板鍍膜。

抗反射鍍膜（AR）
ITO / FTO 透明導電膜
金屬濺鍍（Cr / Au / Al）
介電質多層膜

查看標準功能鍍膜

Precision Optical Coating

精密光學鍍膜

嚴格光學規格，從打樣到量產。適合波長、穿透率與均勻性要求嚴格的光學元件與感測應用。

紫外至紅外帶通濾光片
雷射反射鏡、分色鏡
傾斜膜與多區濾光片
微米級黃光圖形化

查看精密光學鍍膜

Sputtering Coating

濺鍍功能膜

低溫成膜、附著力強。適合樹脂、金屬與立體形狀工件，兼顧功能與外觀。

樹脂鍍鋁反射鏡
電磁遮蔽膜
裝飾膜與發色膜
耐腐蝕保護層

查看濺鍍功能膜

Standard Coating

標準功能鍍膜

依功能需求提供多種鍍膜工藝，全面提升玻璃基板的光學與電氣性能。

光學

抗反射鍍膜（AR Coating）

降低玻璃表面反射率至 < 0.5%，大幅提升透光率，適用於相機鏡頭、感測窗及顯示面板保護玻璃。

導電

ITO / FTO 透明導電鍍膜

透明導電氧化物薄膜，片電阻 10～200 Ω/□ 可調，適用於觸控面板、太陽能電池及電熱除霧玻璃。

金屬

金屬濺鍍（Cr / Au / Al）

高黏附性金屬薄膜，可製作電極層、遮罩層或散熱層，廣泛應用於 MEMS 微製程及半導體晶圓製程。

多層膜

介電質多層膜

高/低折射率材料交替堆疊，可製作帶通濾波片、高反射鏡、分束鏡等精密光學元件，波長範圍可客製。

Precision Optical Coating

精密光學鍍膜

針對感測器、雷射、半導體設備與醫療儀器等高規格應用，從膜系設計、成膜到量測驗證一次完成，單片即可打樣。

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離子輔助蒸鍍為主

以離子輔助蒸鍍（IAD）為主力，搭配電子束蒸鍍與濺鍍。膜層緻密、附著力高，不易受水氣影響而產生特性漂移。

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紫外到紅外全波段

涵蓋 250 nm 紫外至 15 μm 紅外波段，可單獨承接光學模擬與量測。

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多種基板與外形

玻璃、石英、樹脂、金屬與晶體材料；平板、鏡片、稜鏡與異形件，從小口徑到大型基板。

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完整量測與信賴性驗證

依 ISO 9001 品質體系管控，配備 6 台分光光度計、紅外分光光度計、雷射干涉儀，以及恆溫恆濕、冷熱衝擊測試。

代表產品與實測規格

i 線帶通濾光片（365 nm）

i-Line Bandpass Filter

上升邊陡峭、面內均勻性佳，適用於半導體曝光設備。

穿透率: 約 90%
半高寬: ≤ 7 nm
中心波長偏差: ≤ 2 nm（Φ100 mm 範圍內）

220 nm 紫外帶通濾光片

Deep UV Bandpass Filter

採用降低紫外吸收的成膜方式，實測曲線與設計值吻合，再現性佳。

穿透率: 約 90%（220 nm 附近）
信賴性: 60 °C／90% RH、288 小時後波形無明顯偏移

紅外線帶通濾光片

IR Bandpass Filter for Gas Sensing

只讓特定氣體的吸收波段通過，紅外波段任意中心波長皆可設計，單片即可提案。

對應氣體: CH₄、CO₂、CO、NO、SO₂、O₃、SF₆ 等
用途: NDIR 氣體感測器、分析儀

雷射反射鏡

Laser Mirror

單一或多雷射波長的高反射鏡，指定觀察波長可同時穿透。

KrF 248 nm: 石英基板，反射率 ≥ 99.5%
YAG 等雷射: 355／532／633／1,064 nm 可客製
多雷射共用: 藍光、半導體、光纖雷射

傾斜膜與多區濾光片

Wedge & Multi-Zone Filter

在同一片基板上改變膜厚或配置多種膜，簡化光學模組結構。

傾斜膜: 截止波長隨位置連續變化
多區濾光片: ND、AR、分色、金屬膜可組合
用途: 醫療檢測儀器、事務機

抗菌 AR 鍍膜

Antibacterial AR Coating

在玻璃或樹脂基板上同時提供抗反射與抗菌功能，最外層可再加防指紋（AF）鍍膜。

抗菌效果: 抑制金黃色葡萄球菌、大腸桿菌增殖
用途: 醫療器材光學零件、觸控面板

紅外線長波通濾光片（溫度檢測・熱像儀）

規格	截止帶 (nm)	截止帶平均穿透率	5% 上升點 (nm)	50% 上升點 (nm)	穿透帶 (nm)	穿透帶平均穿透率
長波通 2.4 μm	400–2,200	≤ 1%	2,320 ± 30	2,400 ± 50	2,500–3,600	≥ 90%
長波通 5.5 μm	400–5,000	≤ 1%	5,500 ± 400	—	7,500–13,500	≥ 75%
長波通 6.6 μm	1,500–6,400	≤ 1%	6,600 ± 400	6,950 ± 400	7,500–14,000	≥ 80%

※ 穿透帶可做到 90% 以上。另有 8–14 μm 抗反射膜與 8–14 μm 寬帶通濾光片，適用於紅外線相機、熱像儀、溫度計與車用感測。

精密光學薄膜產品

類別	產品
抗反射膜	寬帶 AR、低反射 AR、3 波長 AR、紫外－可見光 AR、雷射用 AR、抗菌 AR、8–14 μm 紅外 AR
濾光片	帶通（含多帶通、深紫外、紅外）、IR Cut、UV Cut、UV-IR Cut、ND、ND＋IR Cut、陷波、螢光／激發濾光片、傾斜膜
反射鏡	分色鏡、冷光鏡、熱光鏡、雷射反射鏡、金屬膜反射鏡（Ag、Al）
分光元件	偏振分光鏡（PBS）、立方體無偏振分光鏡
功能膜	ITO 透明導電膜、撥水／親水膜、防汙膜、氣體阻隔膜

Photolithography Patterning

黃光圖形化

結合光阻製程與鍍膜技術，在同一片基板上精準配置不同功能的膜層，滿足感測器、相機模組、編碼器與光通訊元件的高階需求。

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鍍膜＋黃光一站完成

成膜與圖形化在同一產線完成，採 Lift-off 或蝕刻製程，減少轉廠風險，縮短交期。

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微米級圖形精度

以光罩對位取代傳統治具遮罩，分色膜線寬／間距最小可達 1 μm。

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邊界清晰、間隙更小

圖形邊界模糊約 5 μm，傳統金屬遮罩約 100 μm，相鄰濾光區（如 RGB 帶通濾光片）可緊密排列。

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多功能膜整合

同一片基板上配置多種功能膜，例如分色膜＋遮光膜、反射鏡膜＋吸收膜＋AR 膜，簡化光學模組結構。

黃光圖形化規格

圖形化製程: Lift-off（剝離）／蝕刻
圖形精度: 線寬／間距最小 1 μm
曝光方式: 光罩對準曝光（Mask Aligner）
最大基板尺寸: Φ6 吋
最大基板厚度: 25 mm（可含稜鏡）
介電質多層膜圖形化: 膜厚可達 7 μm
作業環境: ISO Class 1 超潔淨黃光室

※ 圖形精度依膜種與圖形設計而定，歡迎提供圖面評估。

分色膜AR 抗反射膜遮光膜金屬膜吸收膜反射鏡膜ND 膜

Sputtering Coating

濺鍍功能膜

高速濺鍍對工件的熱損傷極小，可在樹脂、金屬與立體形狀工件上形成均勻、緻密且附著力強的膜層。

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樹脂免硬塗層

以 SiO₂ 聚合處理，壓克力等樹脂基板不需硬塗層即可鍍鋁，膠帶測試數十次不脫膜。

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曲面膜厚均勻

高曲率鏡片的頂部與底部膜厚幾乎一致，反射率差異小。

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耐腐蝕保護層

鋁膜加上矽氧化保護層，滴 1% KOH 溶液 10 分鐘以上無變化，量產時性能穩定。

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多層干涉發色

以多層膜的光干涉效果發色，顏色選擇多，可依需求討論客製色。

濺鍍規格

最大工件尺寸: W160 × L325 × H110 mm
樹脂基板: PC、PET、PBT、ABS、PMMA、COP、COC
其他基板: 玻璃、金屬、矽晶圓、鏡片、立體件
樹脂鍍鋁反射率: 約 89–90%（400–700 nm）
批次穩定性: 連續 5 批反射率幾乎無差異

※ 最大工件尺寸為 Al＋SiOx 膜的有效區；反射率為 PC 基板實測。

可成膜材料

金屬膜

AlAgCrTiAuCuPtPdRhRuWGeHfTaMgMoSiSnZnZrNiFe

氧化膜

NbOxTiOxAl₂O₃HfO₂Ta₂O₅SiO₂ZrO₂

電磁遮蔽膜

遮蔽效果：Ag ＞ Cu ＞ Al ＞ Cr ＞ Ti

50 MHz–1 GHz 實測遮蔽效果排序；氧化物 AR 膜不具遮蔽效果。

Al: 50 nm 起有效，500 nm 以上更佳
Ag、Cu: 100 nm 即有高遮蔽效果
Cr: 500 nm 起明顯有效
Ti: 1,000 nm 有效

應用範例

車用內裝零件遮蔽膜室內照明 Cr 漸層裝飾膜光罩金屬膜家電零件氣體阻隔膜化妝品玻璃瓶裝飾膜化妝品外管鍍鋁機車零件發色釣具發色水龍頭把手裝飾樹脂工具鍍鋁

Applications & Services

應用領域與附加服務

從醫療、量測到半導體與雷射設備，提供鍍膜以外的前後段加工，減少轉廠與溝通成本。

Applications

應用領域

醫療器材（內視鏡、眼科、診斷儀器）量測與分析儀器氣體感測器半導體曝光與檢測設備雷射加工設備相機與感測模組投影機光通訊車用感測顯示與觸控 MEMS 與晶圓製程

Services

附加服務

精密洗淨、玻璃切割、研磨、邊緣塗黑、組裝與接合。從單片打樣到批量生產皆可承接；常用帶通濾光片備有現貨，可單片購買供開發測試。

Request for Quotation

詢價前請準備以下資訊

鍍膜報價取決於基板、膜種與規格條件。詢價時一次提供以下資訊，我們能更快評估可行性，並給您準確的報價與交期。

1

產品用途

產品的應用領域與使用方式，例如感測器、相機模組、雷射設備、顯示器或醫療儀器。

2

基板資料

材質（玻璃、石英、樹脂、矽晶圓、金屬等）、外形（平板、鏡片、稜鏡、立體件）、尺寸與厚度。

3

膜種與光學規格

膜種（AR、帶通、反射鏡、ITO、金屬膜等）、波長範圍、目標穿透率或反射率、入射角。有規格曲線請一併附上。

4

鍍膜面與圖形

單面或雙面鍍膜；如需黃光圖形化或局部鍍膜，請附圖面，標示圖形尺寸與公差。

5

信賴性要求

使用環境與測試條件，例如高溫高濕、冷熱衝擊、密著性、耐磨耗等。

6

數量

打樣數量，以及預估的量產數量或年用量。

7

目前階段與交期

專案目前處於開發、打樣或量產階段，以及期望的交貨時間。

8

基板來源與檢驗需求

基板由貴司提供或需代購；是否需要分光量測數據等檢驗資料。

規格還沒確定也沒關係。先提供產品用途與基本需求，我們會協助評估合適的鍍膜方案。如有保密需求，請於來信時告知。

準備好開始合作了嗎？

歡迎提供規格需求或圖面，我們將於 1 個工作天內回覆，協助評估合適的鍍膜製程與報價。

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