光学コーティング・フォトリソグラフィ

光学コーティング・フォトリソグラフィ量産から精密カスタムまで

ガラス基板への標準的な機能性コーティングから、紫外から赤外までの精密光学フィルター、ミクロンレベルのフォトリソグラフィパターニング、樹脂や立体部品へのスパッタ機能膜まで、ご要望の仕様と生産量に合ったコーティングプロセスをご提案します。

250nm–15μm紫外〜赤外の波長域

1μmパターン精度

ISO Class 1フォトリソグラフィ用クリーンルーム

1枚から試作から量産まで

お問い合わせコーティングソリューションを見る

コーティングソリューション

最適なコーティングソリューションの選び方

製品ごとに仕様、数量、コストの要件は異なります。用途に応じて3つのコーティングソリューションをご用意し、案件ごとに最適なプロセスで対応します。

標準コーティング

標準機能性コーティング

安定した量産とコスト重視。仕様が確定しており、大量供給が必要なガラス基板のコーティングに。

反射防止（AR）コーティング
ITO / FTO透明導電膜
金属スパッタリング（Cr / Au / Al）
誘電体多層膜コーティング

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精密光学コーティング

厳しい光学仕様に、試作から量産まで対応。波長、透過率、均一性に厳しい要件がある光学部品やセンシング用途に。

紫外〜赤外のバンドパスフィルター
レーザーミラー・ダイクロイックミラー
ウェッジフィルター・マルチゾーンフィルター
ミクロンレベルのフォトリソグラフィパターニング

精密コーティングを見る

スパッタコーティング

スパッタ機能膜

低温成膜で高い密着性。機能性と外観の両方が求められる樹脂、金属、立体形状の部品に。

樹脂へのアルミミラー
EMIシールド膜
装飾・カラー膜
耐食保護膜

スパッタ機能膜を見る

標準コーティング

標準機能性コーティング

さまざまな機能ニーズに対応するコーティングプロセスで、ガラス基板の光学・電気特性を高めます。

光学

反射防止（AR）コーティング

表面反射率を0.5%未満に抑え、光の透過率を大きく向上させます。カメラレンズ、センサーウィンドウ、ディスプレイのカバーガラスに使用されています。

導電

ITO / FTO透明導電コーティング

シート抵抗を10–200 Ω/□で調整できる透明導電性酸化物膜。タッチパネル、太陽電池、曇り止めのヒーターガラスに使用されています。

金属

金属スパッタリング（Cr / Au / Al）

電極、マスク、放熱層に使う高密着の金属膜。MEMS微細加工や半導体ウェハプロセスで広く使用されています。

多層膜

誘電体多層膜コーティング

高屈折率層と低屈折率層を交互に積層し、バンドパスフィルター、高反射ミラー、ビームスプリッターを製作。波長域はカスタマイズ可能です。

精密光学コーティング

センサー、レーザー、半導体装置、医療機器などの高仕様用途に向けて、膜設計・成膜・測定を一貫して行います。試作は1枚から対応可能です。

◎

イオンアシスト蒸着を主体に

イオンアシスト蒸着（IAD）を主工程とし、電子ビーム蒸着とスパッタリングを組み合わせます。膜は緻密で密着性が高く、湿度による分光特性のシフトが起こりにくいのが特長です。

◈

紫外から赤外までカバー

250nmの紫外域から15μmの赤外域までに対応。光学シミュレーションや測定のみのご依頼も承ります。

⬡

幅広い基板に対応

ガラス、石英、樹脂、金属、結晶材料に対応し、平板、レンズ、プリズム、異形品まで、小径から大型基板まで加工できます。

✦

充実した測定・信頼性試験

ISO 9001品質マネジメントシステムのもとで管理し、分光光度計6台、赤外分光光度計、レーザー干渉計を備え、耐湿試験や熱衝撃試験も実施しています。

代表製品と実測仕様

i線バンドパスフィルター（365nm）

半導体リソグラフィ

急峻なエッジと優れた面内均一性で、半導体露光装置に対応します。

透過率: 約90%
半値幅（FWHM）: 7nm以下
中心波長のばらつき: 2nm以下（Φ100mm面内）

220nm UVバンドパスフィルター

深紫外

紫外吸収の少ない成膜方法により、設計どおりの実測カーブを高い再現性で実現します。

透過率: 約90%（220nm付近）
信頼性: 60°C / 90% RHで288時間後も顕著な分光シフトなし

赤外バンドパスフィルター

ガスセンシング

対象ガスの吸収帯のみを透過します。赤外域の任意の中心波長で設計でき、1枚からご提案可能です。

対象ガス: CH₄、CO₂、CO、NO、SO₂、O₃、SF₆など
用途: NDIRガスセンサー・分析計

レーザーミラー

レーザー

単一または複数のレーザー波長に対応する高反射ミラーで、指定した観察波長を透過させることもできます。

KrF 248nm: 石英基板、反射率99.5%以上
YAGなどのレーザー: 355 / 532 / 633 / 1,064nmにカスタム対応
マルチレーザー: 青色、半導体、ファイバーレーザー

ウェッジフィルター・マルチゾーンフィルター

特殊フィルター

膜厚を変化させたり、1枚の基板に複数のコーティングを組み合わせたりすることで、光学モジュールの設計を簡素化します。

ウェッジフィルター: 位置に応じてカットオフ波長が連続的に変化
マルチゾーンフィルター: ND、AR、ダイクロイック、金属コーティングを組み合わせ
用途: 医療診断機器、OA機器

抗菌ARコーティング

医療・タッチ

ガラスまたは樹脂基板上で反射防止と抗菌性能を両立し、防指紋（AF）トップコートもオプションで追加できます。

抗菌効果: 黄色ブドウ球菌と大腸菌の増殖を抑制
用途: 医療用光学部品、タッチパネル

赤外ロングパスフィルター（温度センシング・サーモグラフィ）

仕様	遮断帯域（nm）	遮断帯域Tavg	5%立ち上がり（nm）	50%立ち上がり（nm）	透過帯域（nm）	透過帯域Tavg
LWP 2.4 μm	400–2,200	≤ 1%	2,320 ± 30	2,400 ± 50	2,500–3,600	≥ 90%
LWP 5.5 μm	400–5,000	≤ 1%	5,500 ± 400	—	7,500–13,500	≥ 75%
LWP 6.6 μm	1,500–6,400	≤ 1%	6,600 ± 400	6,950 ± 400	7,500–14,000	≥ 80%

※ 透過帯域で90%以上の透過率も実現可能です。赤外線カメラ、サーモグラフィ、温度計、車載センシング向けに、8–14μmのARコーティングと8–14μm広帯域透過フィルターもご用意しています。

精密光学薄膜製品

分類	製品
反射防止	広帯域、低反射、3波長、紫外〜可視、レーザー用、抗菌、8–14μm赤外AR
フィルター	バンドパス（マルチバンド、深紫外、赤外）、IRカット、UVカット、UV-IRカット、ND、ND＋IRカット、ノッチ、蛍光・励起、ウェッジフィルター
ミラー	ダイクロイック、コールド、ホット、レーザー、金属（Ag、Al）ミラー
ビームスプリッター	偏光ビームスプリッター（PBS）、無偏光キューブビームスプリッター
機能膜	ITO透明導電膜、撥水・親水膜、防汚膜、ガスバリア膜

フォトリソグラフィパターニング

フォトリソグラフィによるパターニング

フォトレジスト工程と薄膜成膜を組み合わせることで、1枚の基板上に異なる機能性コーティングを高精度に配置できます。センサー、カメラモジュール、エンコーダー、光通信部品に対応します。

◎

成膜とパターニングを一貫対応

リフトオフまたはエッチングにより、成膜とパターニングを同じラインで完結。搬送リスクを減らし、リードタイムを短縮します。

◈

ミクロンレベルの精度

機械式ホルダーに代えてマスクアライメントを採用し、最小1μmのライン／スペースのダイクロイックパターンを実現します。

⬡

シャープな境界で隙間を最小化

パターン端のにじみはメタルマスクの約100μmに対して約5μm。RGBバンドパスフィルターのように、隣接するフィルター領域を並べて配置できます。

✦

複数機能の統合

ダイクロイック＋遮光、ミラー＋吸収＋ARなど、複数のコーティングを1枚の基板に組み合わせ、光学モジュールの設計を簡素化します。

パターニング仕様

パターニング方式: リフトオフ / エッチング
パターン精度: ライン／スペース最小1μm
露光: マスクアライナー
最大基板サイズ: Φ6インチ
最大基板厚: 25mm（プリズム対応）
誘電体多層膜のパターニング: 膜厚最大7μm
環境: ISO Class 1クリーンルーム

※ 実現可能な精度はコーティングの種類とパターン設計によって異なります。図面をお送りいただければ評価いたします。

ダイクロイックAR遮光金属吸収ミラーND

スパッタコーティング

スパッタ機能膜

高速スパッタリングは熱によるダメージが少なく、樹脂、金属、立体形状の部品に均一で緻密かつ密着性の高い膜を形成します。

◎

樹脂にハードコート不要

SiO₂重合処理により、アクリルなどの樹脂にハードコートなしでアルミを成膜でき、数十回のテープ試験でもはがれません。

◈

曲面でも均一

曲率の大きいレンズの頂部と底部でも膜厚がほぼ同じで、反射率のばらつきを低く抑えます。

⬡

耐食保護

酸化ケイ素の保護層を設けたアルミは、1% KOH溶液に10分以上浸しても変化がなく、量産でも安定した結果が得られます。

✦

干渉色

多層膜の干渉により幅広い色を表現でき、カスタムカラーのご相談も承ります。

スパッタリング仕様

最大ワークサイズ: W160 × L325 × H110 mm
樹脂基板: PC、PET、PBT、ABS、PMMA、COP、COC
その他の基板: ガラス、金属、シリコンウェハ、レンズ、立体部品
樹脂上のAlミラー反射率: 約89–90%（400–700nm）
バッチ間の安定性: 5バッチでばらつきはごくわずか

※ 最大ワークサイズはAl＋SiOx膜の有効エリアです。反射率はPC基板での測定値です。

対応材料

金属膜

AlAgCrTiAuCuPtPdRhRuWGeHfTaMgMoSiSnZnZrNiFe

酸化物膜

NbOxTiOxAl₂O₃HfO₂Ta₂O₅SiO₂ZrO₂

EMIシールド膜

シールド性能：Ag > Cu > Al > Cr > Ti

50MHz–1GHzでの測定による順位です。酸化物のARコーティングにはシールド効果はありません。

Al: 50nmから効果あり、500nm以上でさらに向上
Ag、Cu: 100nmから高いシールド効果
Cr: 500nmから明確なシールド効果
Ti: 1,000nmで効果あり

活用例

自動車内装部品のシールド膜照明用Crグラデーション装飾膜フォトマスク用金属膜家電部品のガスバリア膜化粧品ガラス瓶の装飾膜化粧品チューブのアルミコーティングバイク部品のカラー膜釣具のカラー膜水栓ハンドルの装飾膜樹脂工具のアルミコーティング

用途・サービス

用途と付帯サービス

医療・計測から半導体・レーザー装置まで。コーティングの前後工程にも対応し、サプライヤー間の受け渡しを減らします。

用途

主な用途

医療機器（内視鏡、眼科、診断）計測・分析機器ガスセンサー半導体露光・検査装置レーザー加工機カメラ・センサーモジュールプロジェクター光通信車載センシングディスプレイ・タッチパネル MEMS・ウェハ加工

サービス

付帯サービス

精密洗浄、ガラス切断、研磨、端面墨塗り、組立・接着に加え、検査・測定サービスもご提供します。試作1枚から量産まで対応し、一般的なバンドパスフィルターは開発評価用に1枚から在庫しています。

お見積もり依頼

お問い合わせ時にお知らせいただきたい内容

コーティングのお見積もりは、基板、コーティングの種類、仕様によって変わります。初回のお問い合わせで以下の情報をお知らせいただければ、実現可能性をより早く評価し、正確なお見積もりと納期をご案内できます。

1

用途

センサー、カメラモジュール、レーザー装置、ディスプレイ、医療機器など、部品の使用目的。

2

基板

材質（ガラス、石英、樹脂、シリコンウェハ、金属など）、形状（平板、レンズ、プリズム、立体部品）、寸法、厚さ。

3

コーティングの種類と光学仕様

コーティングの種類（AR、バンドパス、ミラー、ITO、金属など）、波長域、目標透過率または反射率、入射角。分光カーブがあれば添付してください。

4

成膜面とパターン

片面または両面の成膜。フォトリソグラフィによるパターニングや部分成膜の場合は、パターン寸法と公差を記載した図面を添付してください。

5

信頼性要件

高温高湿、熱衝撃、密着性、耐摩耗性など、使用環境と試験条件。

6

数量

試作数量と、想定される量産数量または年間使用量。

7

プロジェクトの段階とスケジュール

開発、試作、量産のどの段階か、およびご希望の納期。

8

基板の支給と検査

基板をご支給いただくか当社で手配するか、また分光測定などの検査データが必要かどうか。

仕様がまだ決まっていない場合も、用途と基本的な要件をお知らせいただければ、最適なコーティングソリューションの検討をお手伝いします。守秘が必要な場合は、お問い合わせ時にお知らせください。

まずはお気軽にご相談ください

仕様書や図面をお送りください。1営業日以内にご返信し、最適なコーティングプロセスの検討とお見積もりをご案内します。

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