TGVガラス基板
次世代パッケージングのインターコネクト
ガラス貫通ビア（TGV）は、従来のシリコン基板を低損失のガラスに置き換えることで、優れた電気絶縁性、低い誘電損失、高い集積密度を実現します。5Gミリ波、AI高性能コンピューティング向けパッケージング、MEMSセンサーの需要が急増する中、TGVは先端パッケージングに欠かせない材料になりつつあります。
- ビア径
- 30 – 150 μm
- ビアピッチ
- 50 – 500 μm
- 基板厚
- 0.1 – 0.7 mm
- 誘電率（1GHz）
- < 6
- CTE
- 3 – 7 ppm/°C
- 主な用途
- 5G/6G・AIパッケージング・MEMS
TGVガラス基板
次世代パッケージングのインターコネクト
ガラス貫通ビア（TGV）は、従来のシリコン基板を低損失のガラスに置き換えることで、優れた電気絶縁性、低い誘電損失、高い集積密度を実現します。5Gミリ波、AI高性能コンピューティング向けパッケージング、MEMSセンサーの需要が急増する中、TGVは先端パッケージングに欠かせない材料になりつつあります。
- ビア径
- 30 – 150 μm
- ビアピッチ
- 50 – 500 μm
- 基板厚
- 0.1 – 0.7 mm
- 誘電率（1GHz）
- < 6
- CTE
- 3 – 7 ppm/°C
- 主な用途
- 5G/6G・AIパッケージング・MEMS
主な用途
先端半導体パッケージングから精密光学機器まで、幅広いハイテク製造のニーズにお応えします。
5G/6G・AI先端パッケージング
TGV基板は、5Gミリ波RFフロントエンドモジュール（RFFE）、AIアクセラレーターのCoWoSパッケージング、広帯域メモリ（HBM）に使用され、高密度インターコネクトと低損失伝送の要求を満たします。AIコンピューティング基盤を支える重要な材料です。
MEMS・精密光学・医療・航空宇宙
精密ガラスウェハは、MEMS圧力センサー、ジャイロスコープ、カメラレンズの光学部品、医療診断機器、航空宇宙のセンシングシステムなどで幅広く使用され、高温・高圧・振動といった過酷な条件下でも高い信頼性を維持します。
主な用途
先端半導体パッケージングから精密光学機器まで、幅広いハイテク製造のニーズにお応えします。
5G/6G・AI先端パッケージング
TGV基板は、5Gミリ波RFフロントエンドモジュール（RFFE）、AIアクセラレーターのCoWoSパッケージング、広帯域メモリ（HBM）に使用され、高密度インターコネクトと低損失伝送の要求を満たします。AIコンピューティング基盤を支える重要な材料です。
MEMS・精密光学・医療・航空宇宙
精密ガラスウェハは、MEMS圧力センサー、ジャイロスコープ、カメラレンズの光学部品、医療診断機器、航空宇宙のセンシングシステムなどで幅広く使用され、高温・高圧・振動といった過酷な条件下でも高い信頼性を維持します。
特殊光学ガラスの加工
Carrier Glass、圧電材料、Blue Glassをはじめ、さまざまな光学ガラスのカスタム加工サービスをご提供します。
Carrier Glass
薄型ウェハハンドリング用ガラスキャリアウェハ
薄化、コーティング、エッチング工程で超薄型ウェハ（150μm以下）を支持して破損を防ぎます。工程後は洗浄して再利用でき、生産コストを削減します。
- サイズ
- 6" / 8" / 12"
- 材質
- Fused Silica / BF33
- 厚さ
- 500μm – 775μm
- TTV
- 1μm以下（プレミアム）/ 2μm以下
- 表面
- DSP両面研磨、Ra 0.5nm以下
- 耐熱性
- Fused Silica 1000°C超
圧電部品
Piezoelectric Material
合成水晶を材料とし、平面、平凸、両凸のカット形状に対応。航空宇宙、通信基地局、衛星などの高信頼性用途に適しています。
- 材質
- 合成水晶
- サイズ
- φ4.5–φ14mm / 1.8×3–30×30mm
- 周波数
- 5MHz（O3）– 120MHz（O5）
- カット形状
- 平面 / 平凸 / 両凸 / 二回回転カット
Blue Glass（IRカットフィルター）
IR Absorbing Filter / Blue Glass
700nm以上の赤外光を遮断し、CMOSセンサーで正確な色再現を実現します。スマートフォンのカメラモジュール、車載レンズ、監視カメラで広く使用されています。
- 材質
- SCHOTT BG / CDGM QB / NEG
- サイズ
- 77×77mm（標準）
- 厚さ
- 0.11 / 0.145 / 0.21 / 0.3mm
- カットオフ波長
- 700nm超の赤外線を遮断
その他の光学ガラス
Other Optical Glasses
主要ブランドの光学ガラスの精密切断・研削・研磨サービスで、カメラレンズから医療機器まで幅広い用途に対応します。
- SCHOTT B270 / D263T
- 高透過光学
- JGS1（Fused Silica）
- UV光学
- OHARAシリーズ
- カメラ、医療
- CORNING Eagle XG
- TFT-LCD基板
- サイズ
- φ8–φ400mm
- 厚さ
- 0.07–15.0mm
特殊光学ガラスの加工
Carrier Glass、圧電材料、Blue Glassをはじめ、さまざまな光学ガラスのカスタム加工サービスをご提供します。
Carrier Glass
薄型ウェハハンドリング用ガラスキャリアウェハ
薄化、コーティング、エッチング工程で超薄型ウェハ（150μm以下）を支持して破損を防ぎます。工程後は洗浄して再利用でき、生産コストを削減します。
- サイズ
- 6" / 8" / 12"
- 材質
- Fused Silica / BF33
- 厚さ
- 500μm – 775μm
- TTV
- 1μm以下（プレミアム）/ 2μm以下
- 表面
- DSP両面研磨、Ra 0.5nm以下
- 耐熱性
- Fused Silica 1000°C超
圧電部品
Piezoelectric Material
合成水晶を材料とし、平面、平凸、両凸のカット形状に対応。航空宇宙、通信基地局、衛星などの高信頼性用途に適しています。
- 材質
- 合成水晶
- サイズ
- φ4.5–φ14mm / 1.8×3–30×30mm
- 周波数
- 5MHz（O3）– 120MHz（O5）
- カット形状
- 平面 / 平凸 / 両凸 / 二回回転カット
Blue Glass（IRカットフィルター）
IR Absorbing Filter / Blue Glass
700nm以上の赤外光を遮断し、CMOSセンサーで正確な色再現を実現します。スマートフォンのカメラモジュール、車載レンズ、監視カメラで広く使用されています。
- 材質
- SCHOTT BG / CDGM QB / NEG
- サイズ
- 77×77mm（標準）
- 厚さ
- 0.11 / 0.145 / 0.21 / 0.3mm
- カットオフ波長
- 700nm超の赤外線を遮断
その他の光学ガラス
Other Optical Glasses
主要ブランドの光学ガラスの精密切断・研削・研磨サービスで、カメラレンズから医療機器まで幅広い用途に対応します。
- SCHOTT B270 / D263T
- 高透過光学
- JGS1（Fused Silica）
- UV光学
- OHARAシリーズ
- カメラ、医療
- CORNING Eagle XG
- TFT-LCD基板
- サイズ
- φ8–φ400mm
- 厚さ
- 0.07–15.0mm
品質検査設備
専門的な光学測定機器を備え、すべてのガラス基板が半導体・光学業界の最も厳しい品質基準を満たすことを確認しています。
TTV（厚さばらつき）測定
Zygo干渉計
- 測定項目
- 厚さばらつき（Total Thickness Variation）
- 精度
- 0.1 μm
- 最大サイズ
- D300mm
平坦度測定（Warp / Bow）
干渉計
- 測定項目
- Warp / Bow
- 精度
- 0.1 μm
- 最大サイズ
- D300mm
表面粗さ測定
Veeco白色光干渉計
- 測定項目
- 表面粗さRa
- 精度
- 0.01 μm
- 規格値
- Ra 0.5nm以下
パーティクル・異物検査
光学式パーティクルカウンター
- 測定項目
- 表面パーティクルのサイズ
- 精度
- 0.1 μm
- 対象
- Glass Wafer / Carrier Glass
品質検査設備
専門的な光学測定機器を備え、すべてのガラス基板が半導体・光学業界の最も厳しい品質基準を満たすことを確認しています。
TTV（厚さばらつき）測定
Zygo干渉計
- 測定項目
- 厚さばらつき（Total Thickness Variation）
- 精度
- 0.1 μm
- 最大サイズ
- D300mm
平坦度測定（Warp / Bow）
干渉計
- 測定項目
- Warp / Bow
- 精度
- 0.1 μm
- 最大サイズ
- D300mm
表面粗さ測定
Veeco白色光干渉計
- 測定項目
- 表面粗さRa
- 精度
- 0.01 μm
- 規格値
- Ra 0.5nm以下
パーティクル・異物検査
光学式パーティクルカウンター
- 測定項目
- 表面パーティクルのサイズ
- 精度
- 0.1 μm
- 対象
- Glass Wafer / Carrier Glass