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Revestimento óptico e fotolitografia

Revestimento óptico e fotolitografiaDa produção em volume ao trabalho de precisão sob medida

Dos revestimentos funcionais padrão em substratos de vidro aos filtros ópticos de precisão do UV ao IR, padrões fotolitográficos micrométricos e filmes funcionais por sputtering em resina e peças 3D: escolhemos o processo de revestimento certo para suas especificações e seu volume de produção.

250nm–15μmFaixa de comprimento de onda do UV ao IR
1μmPrecisão dos padrões
ISO Class 1Sala limpa de fotolitografia
A partir de 1 peçaDo protótipo à produção em volume
Sistemas de revestimento óptico a vácuo em sala limpa
Soluções de revestimento

Escolha a solução de revestimento certa

Cada produto tem exigências diferentes de especificação, volume e custo. Oferecemos três soluções de revestimento conforme a aplicação, para que cada projeto use o processo certo.

Revestimento padrão

Revestimento funcional padrão

Produção em volume estável, com foco em custo. Para revestimentos em substratos de vidro com especificações definidas e alta demanda.

  • Revestimento antirreflexo (AR)
  • Filme condutor transparente ITO / FTO
  • Sputtering metálico (Cr / Au / Al)
  • Revestimento dielétrico multicamadas
Revestimento por sputtering

Filmes funcionais por sputtering

Deposição a baixa temperatura com forte aderência. Para peças de resina, metal e formatos 3D que precisam de função e boa aparência.

  • Espelhos de alumínio sobre resina
  • Filmes de blindagem EMI
  • Filmes decorativos e coloridos
  • Camadas de proteção contra corrosão
Revestimento padrão

Revestimento funcional padrão

Diversos processos de revestimento para diferentes necessidades, melhorando o desempenho óptico e elétrico dos substratos de vidro.

Óptico

Revestimento antirreflexo (AR)

Reduz a refletância da superfície para < 0,5%, aumentando bastante a transmissão de luz. Usado em lentes de câmeras, janelas de sensores e vidros de proteção de displays.

Condutor

Revestimento condutor transparente ITO / FTO

Filmes de óxido condutor transparente com resistência de folha ajustável de 10–200 Ω/□. Usados em painéis touch, células solares e vidros aquecidos antiembaçantes.

Metálico

Sputtering metálico (Cr / Au / Al)

Filmes metálicos de alta aderência para eletrodos, máscaras ou dissipação de calor. Muito usados na microfabricação MEMS e em processos de wafers de semicondutores.

Multicamadas

Revestimento dielétrico multicamadas

Camadas alternadas de alto e baixo índice para filtros passa-banda, refletores de alta refletância e divisores de feixe, com faixas de comprimento de onda personalizáveis.

Revestimento óptico de precisão

Revestimento óptico de precisão

Para aplicações de alta especificação em sensores, lasers, equipamentos de semicondutores e instrumentos médicos, cuidamos do projeto do revestimento, da deposição e da medição em um único fluxo, com protótipos a partir de 1 peça.

◎

Deposição assistida por íons como processo principal

A deposição assistida por íons (IAD) é o processo principal, complementada por evaporação por feixe de elétrons e sputtering. Os filmes são densos, muito aderentes e resistentes ao deslocamento espectral causado pela umidade.

◈

Cobertura do UV ao IR

Cobre de 250 nm (UV) a 15 μm (IR). Simulação e medição ópticas também estão disponíveis como serviços separados.

⬡

Ampla variedade de substratos

Vidro, quartzo, resina, metal e cristais; peças planas, lentes, prismas e formatos irregulares, de pequenos diâmetros a grandes substratos.

✦

Medição completa e testes de confiabilidade

Gestão pelo sistema de qualidade ISO 9001, com seis espectrofotômetros, um espectrofotômetro IR, interferômetros a laser e testes de umidade e choque térmico.

Produtos em destaque e especificações medidas

Filtro passa-banda linha i (365 nm)

Litografia de semicondutores

Bordas abruptas e excelente uniformidade no plano para equipamentos de exposição de semicondutores.

Transmitância
Aprox. 90%
FWHM
≤ 7 nm
Variação do comprimento de onda central
≤ 2 nm (em Φ100 mm)

Filtro passa-banda UV de 220 nm

UV profundo

Um método de deposição de baixa absorção UV produz curvas medidas fiéis ao projeto, com alta repetibilidade.

Transmitância
Aprox. 90% (em torno de 220 nm)
Confiabilidade
Sem deslocamento espectral significativo após 288 h a 60 °C / 90% UR

Filtros passa-banda infravermelhos

Detecção de gases

Deixam passar apenas a banda de absorção do gás-alvo. Qualquer comprimento de onda central na faixa do IR pode ser projetado, com propostas a partir de 1 peça.

Gases-alvo
CH₄, CO₂, CO, NO, SO₂, O₃, SF₆ etc.
Aplicações
Sensores e analisadores de gás NDIR

Espelhos para laser

Laser

Refletores de alta refletância para um ou vários comprimentos de onda de laser, transmitindo os comprimentos de onda de observação escolhidos.

KrF 248 nm
Substrato de quartzo, refletância ≥ 99,5%
YAG e outros lasers
Sob medida para 355 / 532 / 633 / 1.064 nm
Multilaser
Lasers azuis, de diodo e de fibra

Filtros em cunha e multizona

Filtros especiais

Variam a espessura do filme ou combinam vários revestimentos em um único substrato para simplificar o projeto do módulo óptico.

Filtro em cunha
O comprimento de onda de corte varia continuamente com a posição
Filtro multizona
Combina revestimentos ND, AR, dicroicos e metálicos
Aplicações
Equipamentos de diagnóstico médico e de escritório

Revestimento AR antibacteriano

Médico · Touch

Combina antirreflexo e ação antibacteriana em substratos de vidro ou resina, com camada superior antidigitais (AF) opcional.

Efeito antibacteriano
Inibe o crescimento de Staphylococcus aureus e E. coli
Aplicações
Peças ópticas médicas, painéis touch

Filtros passa-alta infravermelhos (medição de temperatura e termografia)

EspecificaçãoBanda de bloqueio (nm)Tméd bloqueioCorte 5% (nm)Corte 50% (nm)Banda passante (nm)Tméd passagem
LWP 2.4 μm400–2.200≤ 1%2.320 ± 302.400 ± 502.500–3.600≥ 90%
LWP 5.5 μm400–5.000≤ 1%5.500 ± 400—7.500–13.500≥ 75%
LWP 6.6 μm1.500–6.400≤ 1%6.600 ± 4006.950 ± 4007.500–14.000≥ 80%
* É possível obter transmitância acima de 90% na banda passante. Também oferecemos revestimentos AR de 8–14 μm e filtros passa-banda largos de 8–14 μm para câmeras IR, termografia, termômetros e sensores automotivos.

Produtos de filmes finos ópticos de precisão

CategoriaProdutos
AntirreflexoAR de banda larga, baixa reflexão, 3 comprimentos de onda, UV-visível, laser, antibacteriano e IR 8–14 μm
FiltrosPassa-banda (multibanda, UV profundo, IR), corte IR, corte UV, corte UV-IR, ND, ND + corte IR, notch, fluorescência/excitação e filtros em cunha
EspelhosEspelhos dicroicos, frios, quentes, para laser e metálicos (Ag, Al)
Divisores de feixeDivisores de feixe polarizadores (PBS), divisores de feixe cúbicos não polarizadores
Filmes funcionaisFilmes condutores transparentes ITO, hidrofóbicos/hidrofílicos, antiaderentes a sujeira e de barreira a gases
Padrões fotolitográficos

Padrões fotolitográficos

Combinando o processamento com fotorresiste e a deposição de filmes finos, diferentes revestimentos funcionais podem ser posicionados com precisão em um mesmo substrato, para sensores, módulos de câmera, encoders e componentes de comunicação óptica.

◎

Revestimento e padrões em um único fluxo

A deposição e a criação dos padrões são feitas na mesma linha, por lift-off ou corrosão, reduzindo o risco de manuseio e o prazo.

◈

Precisão micrométrica

O alinhamento por máscara substitui os suportes mecânicos e permite padrões dicroicos de linha/espaço de até 1 μm.

⬡

Bordas nítidas, espaços menores

Desfoque de borda de cerca de 5 μm, contra cerca de 100 μm com máscaras metálicas, permitindo regiões de filtro adjacentes, como filtros passa-banda RGB lado a lado.

✦

Integração de várias funções

Combine vários revestimentos em um único substrato, como dicroico + bloqueio de luz ou espelho + absorvente + AR, para simplificar o projeto do módulo óptico.

Especificações dos padrões

Processo
Lift-off / Corrosão
Precisão dos padrões
Linha/espaço de até 1 μm
Exposição
Alinhadora de máscaras
Tamanho máx. do substrato
Φ6 in
Espessura máx. do substrato
25 mm (aceita prismas)
Padrões dielétricos multicamadas
Espessura do filme de até 7 μm
Ambiente
Sala limpa ISO classe 1
* A precisão possível depende do tipo de revestimento e do desenho do padrão. Envie seus desenhos para avaliação.
DicroicoARBloqueio de luzMetálicoAbsorventeEspelhoND
Ilustração do processo de fotolitografia
Revestimento por sputtering

Filmes funcionais por sputtering

O sputtering de alta velocidade causa dano térmico mínimo e forma filmes uniformes, densos e muito aderentes em peças de resina, metal e formatos 3D.

◎

Sem hard coat na resina

Com tratamento de polimerização de SiO₂, o alumínio pode ser aplicado sobre acrílico e outras resinas sem hard coat, sem descolar após dezenas de testes de fita.

◈

Uniforme em superfícies curvas

A espessura do filme é praticamente igual no topo e na base de lentes muito curvas, mantendo baixa a variação de refletância.

⬡

Proteção contra corrosão

O alumínio com camada protetora de óxido de silício não apresenta alteração após mais de 10 minutos em solução de KOH a 1%, com resultados estáveis na produção em volume.

✦

Cores de interferência

A interferência em multicamadas produz uma ampla gama de cores, e cores sob medida podem ser avaliadas.

Especificações do sputtering

Tamanho máx. da peça
W160 × L325 × H110 mm
Substratos de resina
PC, PET, PBT, ABS, PMMA, COP, COC
Outros substratos
Vidro, metal, wafers de silício, lentes, peças 3D
Refletância do espelho de Al sobre resina
Aprox. 89–90% (400–700 nm)
Consistência entre lotes
Variação desprezível em 5 lotes
* O tamanho máx. da peça refere-se à área útil para filmes de Al + SiOx. Refletância medida em substratos de PC.
Interior de um sistema de sputtering: substratos revestidos em um tambor rotativo e alvos de sputtering

Materiais disponíveis

Filmes metálicos

AlAgCrTiAuCuPtPdRhRuWGeHfTaMgMoSiSnZnZrNiFe

Filmes de óxidos

NbOxTiOxAl₂O₃HfO₂Ta₂O₅SiO₂ZrO₂

Filmes de blindagem EMI

Desempenho de blindagem: Ag > Cu > Al > Cr > Ti

Classificação medida entre 50 MHz e 1 GHz. Revestimentos AR de óxidos não oferecem blindagem.

Al
Eficaz a partir de 50 nm, melhor acima de 500 nm
Ag, Cu
Alta blindagem a partir de 100 nm
Cr
Blindagem clara a partir de 500 nm
Ti
Eficaz com 1.000 nm

Exemplos de aplicação

Filmes de blindagem para peças internas automotivas Filmes decorativos em degradê de Cr para iluminação Filmes metálicos para fotomáscaras Filmes de barreira a gases para peças de eletrodomésticos Filmes decorativos para frascos de vidro de cosméticos Revestimento de alumínio para bisnagas de cosméticos Filmes coloridos para peças de motocicletas Filmes coloridos para artigos de pesca Filmes decorativos para manoplas de torneiras Revestimento de alumínio para ferramentas de resina
Aplicações e serviços

Aplicações e serviços complementares

Da área médica e de medição aos equipamentos de semicondutores e laser, também cuidamos dos processos antes e depois do revestimento, reduzindo a troca de peças entre fornecedores.

Aplicações

Aplicações

Dispositivos médicos (endoscópios, oftalmologia, diagnóstico) Instrumentos de medição e análise Sensores de gás Equipamentos de exposição e inspeção de semicondutores Equipamentos de processamento a laser Módulos de câmera e sensores Projetores Comunicação óptica Sensores automotivos Displays e painéis touch MEMS e processamento de wafers
Serviços

Serviços complementares

Limpeza de precisão, corte de vidro, polimento, escurecimento de bordas, montagem e colagem, além de serviços de inspeção e medição. Atendemos de protótipos unitários à produção em volume, e filtros passa-banda comuns estão em estoque em unidades avulsas para testes de desenvolvimento.

Solicitação de orçamento

O que informar na sua consulta

O orçamento de revestimento depende do substrato, do tipo de revestimento e das especificações. Enviar os dados abaixo já na primeira consulta nos ajuda a avaliar a viabilidade mais rápido e a passar um orçamento e um prazo precisos.

1

Aplicação

Para que a peça será usada, por exemplo sensores, módulos de câmera, equipamentos a laser, displays ou instrumentos médicos.

2

Substrato

Material (vidro, quartzo, resina, wafer de silício, metal etc.), formato (plano, lente, prisma, peça 3D), dimensões e espessura.

3

Tipo de revestimento e especificações ópticas

Tipo de revestimento (AR, passa-banda, espelho, ITO, metálico etc.), faixa de comprimento de onda, transmitância ou refletância desejada e ângulo de incidência. Anexe as curvas espectrais, se houver.

4

Faces revestidas e padrões

Revestimento em uma ou nas duas faces. Para padrões fotolitográficos ou revestimento parcial, anexe um desenho com as dimensões e tolerâncias do padrão.

5

Requisitos de confiabilidade

Ambiente de uso e condições de teste, como alta temperatura e umidade, choque térmico, aderência ou resistência à abrasão.

6

Quantidade

Quantidade de protótipos e volume de produção estimado ou consumo anual.

7

Fase do projeto e prazos

Se o projeto está em desenvolvimento, prototipagem ou produção, e a data de entrega desejada.

8

Fornecimento de substrato e inspeção

Se você fornecerá os substratos ou se devemos providenciá-los, e se precisa de dados de inspeção, como medições espectrais.

As especificações ainda não estão definidas? Conte sua aplicação e os requisitos básicos e ajudaremos a avaliar a solução de revestimento certa. Se houver necessidade de confidencialidade, informe na consulta.

Pronto para começar?

Envie suas especificações ou desenhos. Responderemos em até 1 dia útil para ajudar a avaliar o processo de revestimento certo e enviar um orçamento.